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S1000-掃描電鏡放大倍率校準(zhǔn)圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品

時間：2019-09-06 作者：普天同創(chuàng) 閱讀：5960

概述簡介：

普天同創(chuàng)（深圳）科技有限公司為掃描電鏡客戶定制放大倍率標(biāo)準(zhǔn)樣品。標(biāo)樣基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。由德國聯(lián)邦物理研究所（PTB）對線距均勻性進行測量認(rèn)證。測量結(jié)果可直接溯源至米定義計量基準(zhǔn)。

規(guī)格尺寸：

5mm×5mm×0.5mm（長×寬×厚）

產(chǎn)品描述：

○. 主體圖形為一“回”字形方框，分為4個象限，X、Y軸上為垂直坐標(biāo)軸方向的線距20μm的短平行線條，

○. 4個象限上分別是線距為40μm、20μm、10μm的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5μm的X、Y雙向平行線條圖形。

○. 內(nèi)框中部又是“回”字形方框，大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5μm的平行線條，小框里面是線距為1μm或0.5μm的X、Y雙向平行線條圖形（如圖）。在5μm和1μm或0.5μm的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整。不同的線距大小可用于從10×～100,000×放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40μm、20μm和10μm的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計成方格形，是為了在對放大倍率進行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時，可以對圖像的畸變、像散等進行校驗， 5μm和1μm/0.5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時具有X、Y兩個方向的平行線條，是為了方便同時對X、Y兩個方向進行放大倍率的校準(zhǔn)而不必機械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。

主要用途：

○. 可用于同時對任意兩個垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的最有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
○. 可用于對圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進行校驗，是評價掃描電鏡圖像質(zhì)量的個重要工具
○. 可直接用于同一量級物體長度的精確比對測量
○. 對樣品臺傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗也有較好的作用

○. 利用標(biāo)樣上的“點子”圖像，可對電子束作漂移檢驗和樣品臺復(fù)位檢驗

使用方法：

○. 盡量使用較低的工作電壓，如5KeV或更低
○. 盡量使用較小的束流，并避免對標(biāo)準(zhǔn)樣品的長時間掃描
○. 注意，測量時必須選擇“線周期”進行測量(即 Pitch)，即一黑一白為“一根線”
○. 必須同時測量雙向的距離，交角為90度
○. 測量的雙向距離大約占圖像的二分之一或三分之二
○. 同時，通常在適當(dāng)倍率下，應(yīng)測量3-5條線值的平均值；如我們在標(biāo)樣說明書中所示的照片那樣

○. 可以直接參照標(biāo)樣說明書的那八張相近圖像進行測量

注意事項：

使用前應(yīng)認(rèn)真檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品表面有無污染物和損壞，因為這會影響校準(zhǔn)。請勿使用已破損或有污染物的標(biāo)準(zhǔn)樣品！可用清潔干燥的空氣或氮氣清除標(biāo)準(zhǔn)樣品上的灰塵、碎片或其他污染物，注意不要損壞標(biāo)準(zhǔn)樣品。有條件的實驗室應(yīng)不定期地通過與其他標(biāo)準(zhǔn)樣品的對比來檢查標(biāo)準(zhǔn)樣品的特性和用法來確定其檢查頻率。

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